午夜精品福利一区二区蜜股av|99久久精品一区二区成人|国产精品卡一|www香蕉|日本一区欧美|国产一区毛片|日本中文字幕在线观看|91中文字幕+乱码

設(shè)備概要

SPP-600S 是半自動通用拋光型設(shè)備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機(jī)型裝備有兩個(gè)拋光頭和一個(gè)定盤修正頭，可實(shí)現(xiàn)高的吞吐量。它具有*特的軟件和觸摸屏，使用操作方便。

設(shè)備構(gòu)成

1. 拋光頭：

    一個(gè)定盤，兩個(gè)拋光頭同時(shí)工作，可實(shí)現(xiàn)高的吞吐量；

    可獨(dú)立編程（包括轉(zhuǎn)速）并單獨(dú)控制每個(gè)拋光頭；

    夾緊機(jī)構(gòu)為真空吸附固定或利用晶圓表面張力進(jìn)行固定；

    裝備有保護(hù)圈以*均勻性和邊緣輪廓；拋光壓力基于實(shí)時(shí)監(jiān)控；

    具有擺動功能；

2. 定盤：水冷系統(tǒng)可*穩(wěn)定運(yùn)行

3. 修整主軸：裝有*修整頭；修整壓力靠頭的自重；

4. 外殼：全密封；安全互鎖門；

5. 觸摸屏：9.5 寸全彩屏；GUI 操作面板；4 級程序控制；

6. 供液單元：使用羅拉泵可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定供液。

設(shè)備指標(biāo)